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예시)

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저자

Krasnoperova, A. A. ; Ito, H. ; Breyta, G. ; Fenzel-Alexander, D.
발행기관

SPIE
학술지명
Progress in Biomedical Optics and Imaging(SPIE Proceedings Series)
권호사항

Vol.- No.3049 [1997]
발행연도
1997년
작성언어
eng
주제어

resist technology ; SPIE
Print ISSN
1605-7422
Online ISSN
2410-9045
자료형태
학술저널
원정보자원
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
수록면
692-705 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
국제 표준도서번호
0819424633
회의자료명
Advances in resist technology and processing
회의명
Conference; 14th
회의장소
Santa Clara; CA
회의날짜
1997; Mar
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