65-nm CMOS 300 GHz 영상 검출기 및 영상 획득

국문 초록 (Abstract)

본 논문에서는 65-nm CMOS 공정을 이용하여 300 GHz 주파수 대역의 영상 검출기를 제작하고, 이에 기반하여 영상을 획득하였다. 검출기 회로 구조는 square-law 동작에 기초를 두고 있다. 제작된 검출기는 285 GHz에서 2,270 V/W의 최대 반응도(responsivity)와 38 pW/Hz<SUP>1/2</SUP>의 최소 NEP(Noise Equivalent Power)를 보였으며, 250～305 GHz의 범위에서 NEP<～200 pW/Hz<SUP>1/2</SUP>를 보였다. 측정용 패드와 밸룬(Balun)을 포함한 제작된 칩의 크기는 400 μm×450 μm이며, 측정용 요소들을 제외한 주요 칩의 크기는 150 μm×100 μm이다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

In this work, a 300 GHz imaging detector has been developed and image has been acquired in a 65-nm CMOS technology. The circuit was designed based on the square-law of MOSFET devices. The fabricated detector exhibits a maximum responsivity of 2,270 V/W and minimum NEP of 38 pW/Hz<SUP>1/2</SUP> at 285 GHz, and NEP<～200 pW/Hz<SUP>1/2</SUP> for 250～305 GHz range. The chip size is 400 μm× 450 μm including the probing pads and a balun, while the core of the circuit occupies only 150 μm×100 μm.

목차 (Table of Contents)

• 요약
• Abstract
• Ⅰ. 서론
• Ⅱ. 회로 설계
• Ⅲ. 측정 결과
• Ⅳ. 결론
• References

참고문헌 (Reference)

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