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예시)

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저자

Ciampolini, L. ; Giannazzo, F. ; Ciappa, M. ; Fichtner, W. ; Raineri, V.
발행기관

ELSEVIER
학술지명
Materials Science in Semiconductor Processing
권호사항

Vol.4 No.1-3 [2001]
발행연도
2001년
작성언어
-
Print ISSN
1369-8001
Online ISSN
1873-4081
등재정보
SCI;SCIE;SCOPUS
자료형태
학술저널
원정보자원
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
수록면
85-88 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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