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Grutzmacher, D. ; Tsujino, S. ; Falub, C. ; Borak, A. ; Diehl, L. ; Muller, E. ; Sigg, H. ; Gennser, U. ; Fromherz, T. ; Meduna, M.
2005년
eng
1369-8001
1873-4081
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
401-409 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Initial growth behaviors of SiGeC in SiGe and C alternate deposition