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Kahler, J. ; Doring, L. ; Merzsch, S. ; Stranz, A. ; Waag, A. ; Peiner, E.
2011년
eng
0277-786X
1996-756X
학술저널
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
8066 03 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Miniaturized piezoelectric structures for application temperatures up to 1000 ^oC [8066-04]