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Acovic, A. ; Ray, A. ; Sun, J. ; Herman, J.
1996년
eng
학술저널
INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA PROCESS INDUCED DAMAGE
160-163 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0965157709
Plasma process-induced damage
International symposium; 1st
Santa Clara; CA
1996; May
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