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https://www.riss.kr/link?id=O60550342
2012년
eng
1932-5150
1932-5134
SCIE;SCOPUS
학술저널
JOURNAL OF MICRO NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS
021117 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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