RISS 학술연구정보서비스

검색
다국어 입력

http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.

변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.

예시)
  • 中文 을 입력하시려면 zhongwen을 입력하시고 space를누르시면됩니다.
  • 北京 을 입력하시려면 beijing을 입력하시고 space를 누르시면 됩니다.
닫기
    인기검색어 순위 펼치기

    RISS 인기검색어

      KCI등재

      광열유체 마이크로 부품의 신뢰성 평가를 위한 시험법에 관한 고찰

      한글로보기

      https://www.riss.kr/link?id=A99585898

      • 0

        상세조회
      • 0

        다운로드
      서지정보 열기
      • 내보내기
      • 내책장담기
      • 공유하기
      • 오류접수

      부가정보

      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 인장시험법
      • 3. 굽힘 시험법
      • 4. 결론
      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 인장시험법
      • 3. 굽힘 시험법
      • 4. 결론
      • 참고문헌
      더보기

      참고문헌 (Reference)

      1 "마이크로/나노테크놀로지를 뒷받침하는 평가,계측기술"" 기계&자동화 2 (2): 14-22, 2003

      2 "high cycle fatigue test of nanoscale Si and SiO2 Wires Based on AFM Technique" 662-665, 2003

      3 "cross comparison of thin film tensile testing methods examined with single crystal silicon,polysilicon,nickel, and titanium films, Micro electronical systems, MEMS-03, Kyoto" 19-23, 2003

      4 "Test microstructures for measurement of SiC thin film mechanical properties" 190-193, 1999Sep.

      5 "Tensile tests on silicon whiskers" 3 : 414-415, 1955

      6 "Tensile testing of thin film microstructures" 3224 : 344-351, 1997

      7 "Tensile testing of silicon film having different crystallographic orientations carried out on a silicon chip" 70 : 148-152, 1998

      8 "Tensile testing of SiO2 and Si3N4 films carried out on a silicon chip," 82 : 291-296, 2000

      9 "Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films" 7 (7): 106-113, 1998

      10 "Microscale Material Testing Using MEMS actuator" 10 (10): 146-153, 2001

      1 "마이크로/나노테크놀로지를 뒷받침하는 평가,계측기술"" 기계&자동화 2 (2): 14-22, 2003

      2 "high cycle fatigue test of nanoscale Si and SiO2 Wires Based on AFM Technique" 662-665, 2003

      3 "cross comparison of thin film tensile testing methods examined with single crystal silicon,polysilicon,nickel, and titanium films, Micro electronical systems, MEMS-03, Kyoto" 19-23, 2003

      4 "Test microstructures for measurement of SiC thin film mechanical properties" 190-193, 1999Sep.

      5 "Tensile tests on silicon whiskers" 3 : 414-415, 1955

      6 "Tensile testing of thin film microstructures" 3224 : 344-351, 1997

      7 "Tensile testing of silicon film having different crystallographic orientations carried out on a silicon chip" 70 : 148-152, 1998

      8 "Tensile testing of SiO2 and Si3N4 films carried out on a silicon chip," 82 : 291-296, 2000

      9 "Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films" 7 (7): 106-113, 1998

      10 "Microscale Material Testing Using MEMS actuator" 10 (10): 146-153, 2001

      11 "Micro Mechanical Single Crystal Silicon Fracture Studies - Torsion and Bending" 105-109, 1996,

      12 "Mechanical deflection of cantilever microbeams A new technique for testing the mechanical propertie of thin films" T. P. Weiths et. al. 3 (3): 931-942, 1988

      13 "Measurement of mechanical properties for MEMS materials" 10 : 706-716, 1999

      14 "Measurement of Mechanical Properties of Microfabricated Thin Films" 430-435, 1997

      15 "Fracture testing of silicon microelements in situ in a scanning electron microscope" 4799-4803, 1988

      16 "Fracture testing of bulk silicon microcantilever beams subjected to a side load" 15 (15): 142-150, 1996

      17 "Fatigue test of single crystal silicon resonator technical digest 16th sensor symp." 277-280, 1998june,

      18 "Determination of Young's modulus and residual stress of electroless nickel using test structures fabricated in a new surface micromachining process" 2 : 92-96, 1996

      19 "AFM bending testing of nanometric single crystal silicon wire at intermediate temperatures for MEMS" 135-138, 2001

      20 "A New Technique for Measuring the Mechanical Properties of Thin Films" 6 : 193-199, 1997

      더보기

      동일학술지(권/호) 다른 논문

      동일학술지 더보기

      더보기

      분석정보

      View

      상세정보조회

      0

      Usage

      원문다운로드

      0

      대출신청

      0

      복사신청

      0

      EDDS신청

      0

      동일 주제 내 활용도 TOP

      더보기

      주제

      연도별 연구동향

      연도별 활용동향

      연관논문

      연구자 네트워크맵

      공동연구자 (7)

      유사연구자 (20) 활용도상위20명

      인용정보 인용지수 설명보기

      학술지 이력

      학술지 이력
      연월일 이력구분 이력상세 등재구분
      2026 평가예정 재인증평가 신청대상 (재인증)
      2020-01-01 평가 등재학술지 유지 (재인증) KCI등재
      2017-01-01 평가 등재학술지 유지 (계속평가) KCI등재
      2013-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2010-01-01 평가 등재 1차 FAIL (등재유지) KCI등재
      2008-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2006-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2004-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2001-01-01 평가 등재학술지 선정 (등재후보2차) KCI등재
      1998-07-01 평가 등재후보학술지 선정 (신규평가) KCI등재후보
      더보기

      학술지 인용정보

      학술지 인용정보
      기준연도 WOS-KCI 통합IF(2년) KCIF(2년) KCIF(3년)
      2016 0.22 0.22 0.25
      KCIF(4년) KCIF(5년) 중심성지수(3년) 즉시성지수
      0.22 0.2 0.478 0.07
      더보기

      이 자료와 함께 이용한 RISS 자료

      나만을 위한 추천자료

      해외이동버튼