- Abstract
- 1. 서론
- 2. 인장시험법
- 3. 굽힘 시험법
- 4. 결론
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2004
Korean
551
KCI등재
학술저널
242-247(6쪽)
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참고문헌 (Reference)
1 "마이크로/나노테크놀로지를 뒷받침하는 평가,계측기술"" 기계&자동화 2 (2): 14-22, 2003
2 "high cycle fatigue test of nanoscale Si and SiO2 Wires Based on AFM Technique" 662-665, 2003
3 "cross comparison of thin film tensile testing methods examined with single crystal silicon,polysilicon,nickel, and titanium films, Micro electronical systems, MEMS-03, Kyoto" 19-23, 2003
4 "Test microstructures for measurement of SiC thin film mechanical properties" 190-193, 1999Sep.
5 "Tensile tests on silicon whiskers" 3 : 414-415, 1955
6 "Tensile testing of thin film microstructures" 3224 : 344-351, 1997
7 "Tensile testing of silicon film having different crystallographic orientations carried out on a silicon chip" 70 : 148-152, 1998
8 "Tensile testing of SiO2 and Si3N4 films carried out on a silicon chip," 82 : 291-296, 2000
9 "Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films" 7 (7): 106-113, 1998
10 "Microscale Material Testing Using MEMS actuator" 10 (10): 146-153, 2001
1 "마이크로/나노테크놀로지를 뒷받침하는 평가,계측기술"" 기계&자동화 2 (2): 14-22, 2003
2 "high cycle fatigue test of nanoscale Si and SiO2 Wires Based on AFM Technique" 662-665, 2003
3 "cross comparison of thin film tensile testing methods examined with single crystal silicon,polysilicon,nickel, and titanium films, Micro electronical systems, MEMS-03, Kyoto" 19-23, 2003
4 "Test microstructures for measurement of SiC thin film mechanical properties" 190-193, 1999Sep.
5 "Tensile tests on silicon whiskers" 3 : 414-415, 1955
6 "Tensile testing of thin film microstructures" 3224 : 344-351, 1997
7 "Tensile testing of silicon film having different crystallographic orientations carried out on a silicon chip" 70 : 148-152, 1998
8 "Tensile testing of SiO2 and Si3N4 films carried out on a silicon chip," 82 : 291-296, 2000
9 "Specimen Size Effect on Tensile Strength of Surface-Micromachined Polycrystalline Silicon Thin Films" 7 (7): 106-113, 1998
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11 "Micro Mechanical Single Crystal Silicon Fracture Studies - Torsion and Bending" 105-109, 1996,
12 "Mechanical deflection of cantilever microbeams A new technique for testing the mechanical propertie of thin films" T. P. Weiths et. al. 3 (3): 931-942, 1988
13 "Measurement of mechanical properties for MEMS materials" 10 : 706-716, 1999
14 "Measurement of Mechanical Properties of Microfabricated Thin Films" 430-435, 1997
15 "Fracture testing of silicon microelements in situ in a scanning electron microscope" 4799-4803, 1988
16 "Fracture testing of bulk silicon microcantilever beams subjected to a side load" 15 (15): 142-150, 1996
17 "Fatigue test of single crystal silicon resonator technical digest 16th sensor symp." 277-280, 1998june,
18 "Determination of Young's modulus and residual stress of electroless nickel using test structures fabricated in a new surface micromachining process" 2 : 92-96, 1996
19 "AFM bending testing of nanometric single crystal silicon wire at intermediate temperatures for MEMS" 135-138, 2001
20 "A New Technique for Measuring the Mechanical Properties of Thin Films" 6 : 193-199, 1997
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학술지 이력
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2026 | 평가예정 | 재인증평가 신청대상 (재인증) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (재인증) | |
2017-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (계속평가) | |
2013-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2010-01-01 | 평가 | 등재 1차 FAIL (등재유지) | |
2008-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2006-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2004-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2001-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | |
1998-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) |
학술지 인용정보
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.22 | 0.22 | 0.25 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.22 | 0.2 | 0.478 | 0.07 |