고순도 삼염화실란(TCS) 중의 미량 인(P) 불순물 농도를 흡착 분리 방법을 이용하여 분광광도법적으로 측정하는 방법을 제안하였다. TCS 중의 미량 불순물인 P 염화물을 보다 안정한 $POCl_3$로 ...
http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
https://www.riss.kr/link?id=A101030008
김동권 ; 한명완 ; 김희영 ; Dong Kwon Kim ; Myoung Wan Han ; Hee Young Kim
1992
Korean
SCOPUS,KCI등재,ESCI
학술저널
255-260(6쪽)
0
상세조회0
다운로드국문 초록 (Abstract)
고순도 삼염화실란(TCS) 중의 미량 인(P) 불순물 농도를 흡착 분리 방법을 이용하여 분광광도법적으로 측정하는 방법을 제안하였다. TCS 중의 미량 불순물인 P 염화물을 보다 안정한 $POCl_3$로 ...
고순도 삼염화실란(TCS) 중의 미량 인(P) 불순물 농도를 흡착 분리 방법을 이용하여 분광광도법적으로 측정하는 방법을 제안하였다. TCS 중의 미량 불순물인 P 염화물을 보다 안정한 $POCl_3$로 산화시킨 다음, ethanol 용매에 잘 녹으며$POCl_3$와 안정된 부가화합물 complex를 형성하는 물질로서$AlCl_3$를 선택하여 분리해 내었다. 이러한 흡착을 이용한 농축 분리 방법을 통해 분석 도중에 실리카 겔 및 기포의 생성을 방지할 수 있었는데, 반도체급 TCS 중의 P 농도는 ${\pm}$ 17% 표준편차 범위내에서 5.32${\mi}g/l$로 측정되었다. 이와같이 $AlCl_3$로 P 화합물을 제거시킨 정제된 TCS 중의 P 농도는 0.15${\mi}g/l$이하로 측정되어 $AlCl_3$의 우수한 흡착 성능이 습식분석에 효과적으로 이용될 수 있음을 확인할 수 있다. 또한 TCS 정제 중 P 불순물 제거에 효과적인 것으로 알려진 다른 흡착 물질의 성능도 본 측정 방법으로 비교 분석하였다.
다국어 초록 (Multilingual Abstract)
A procedure for spectrophotometric determination of traces of phosphorus(P) in high-purity trichlorosilane(TCS) is proposed using an adsorptive separation. $PCl_3$, which is a dominant P impurity within TCS, is first oxidized by oxygen to a stable for...
A procedure for spectrophotometric determination of traces of phosphorus(P) in high-purity trichlorosilane(TCS) is proposed using an adsorptive separation. $PCl_3$, which is a dominant P impurity within TCS, is first oxidized by oxygen to a stable form as $POCl_3$. $AlCl_3$ is selected as an adsorbent which forms a thermally stable complex with $POCl_3$ in TCS and can be well dissolved in aqueous ethanol solution. The proposed adsorptive separation method is free from the formation of silica gel and gas bubbles during the colorimetric analysis of TCS. The method reveals that the P concentration in a semiconductor-grade TCS is 5.32 ${\mi}g/l$ within the standard deviation of ${\pm}$ 17%. On the other hand, the P concentration of the purified TCS which is separated from the $AlCl_3$${\cdot}$$POCl_3$ complex is reduced to be less than 0.15 ${\mi}g/l$, showing the efficient applicability of $AlCl_3$ to the wet chemical analysis. The proposed method is also tested to verify the effectiveness of other well-known adsorbents.
중급출력 헬륨 마이크로파 유도 플라즈마를 이용한 염소이온의 분석
유도결합 플라즈마 원자 방출 분광법에 의한 $SnO_2$ 중의 Palladium 정량
(펜타메틸시클로펜타디에닐) 비스(포스핀)루테늄의 염화물과 수소화물 유도체
비수용매에서 산소첨가된 네자리 Schiff Base Cobalt(II)(3MeOSED) 활성촉매에 의한 Hydrazobenzene의 산화반응과 전기화학적 성질 (제 1 보)