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Variam, N. ; Mehta, S. ; Feudel, T. ; Horstmann, M. ; Krueger, C. ; Ng, C. ; Posselt, M.
2000년
eng
학술저널
ION IMPLANTATION TECHNOLOGY- INTERNATIONAL CONFERENCE-
42-45 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0780364627
Ion implantation technology
International conference; 13th
Alpbach, Austria
2000; Sep
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FR-17 A Personal Historical Perspective of Ion Implantation Equipment for Semiconductor Applications
PL-2 Trend of the CMOS Process Technology for System on a Chip