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Yu, T. ; Ranganathan, R. ; Johnson, N. ; Yadav, N. ; Gale, R. ; Dallas, T.
2007년
eng
1057-7157
1941-0158
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
355-364 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Strength Distributions in Polycrystalline Silicon MEMS
Frequency-Dependent Electrical and Thermal Response of Heated Atomic Force Microscope Cantilevers