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1995년
jpn
0559-8516
1880-9413
SCOPUS
학술저널
JOURNAL- VACUUM SOCIETY OF JAPAN
767 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
36th Vacuum symposium
Tokyo
1995; Jul
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Plasma Characteristics of the Single Loop Ribbon Antenna Plasma Source
Characteristics of Microwave-Induced Ar Plasma Operated in a Surface-Wave Mode
Mass Spectrometry of Ions 13.56 MHz Discharge of SF~6/Ar Mixture