본 연구는 Bi-Te 박막과 Sb-Te 박막을 co-evaporation 공정을 사용하여 제조하고 박막의 열전, 전기적 특성을 평가하였다. 앞서 제조한 박막을 이용하여 박막형 열전 냉각 소자를 설계하였다.
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2011
Korean
550
학술저널
397-398(2쪽)
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본 연구는 Bi-Te 박막과 Sb-Te 박막을 co-evaporation 공정을 사용하여 제조하고 박막의 열전, 전기적 특성을 평가하였다. 앞서 제조한 박막을 이용하여 박막형 열전 냉각 소자를 설계하였다.
본 연구는 Bi-Te 박막과 Sb-Te 박막을 co-evaporation 공정을 사용하여 제조하고 박막의 열전, 전기적 특성을 평가하였다. 앞서 제조한 박막을 이용하여 박막형 열전 냉각 소자를 설계하였다.
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