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Keem, K. ; Kang, J. ; Yoon, C. ; Yeom, D. ; Jeong, D. Y. ; Moon, B. M. ; Kim, S.
2007년
eng
0167-9317
1873-5568
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MICROELECTRONIC ENGINEERING
1622-1626 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Fabrication of hp 32nm resist patterns using near-field lithography