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2000년
eng
1084-6999
학술저널
ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS
317-322 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0780352742; 0780352734; 0780352750
Micro electro mechanical systems
International conference; 13th
Miyazaki, Japan
2000; Jan
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MEMS Commercialization: Ingredients for Success
Ball Semiconductor Technology and its Application to MEMS
Fabrication of the Planar Angular Rotator Using the CMOS Process