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A 1.5V Supplied, CMOS ASIC for the Actuation of an Electrostatic Micromotor

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https://www.riss.kr/link?id=O39876291

저자

Favrat, P. ; Paratte, L. ; Ballan, H. ; Declerq, M.
발행기관

IEEE
학술지명
Proceedings, IEEE micro electro mechanical systems
권호사항

Vol.9 No.- [1996]
발행연도
1996년
작성언어
eng
주제어

micro electro mechanical systems ; MEMS ; IEEE ; robotics
Print ISSN
1084-6999
자료형태
학술저널
원정보자원
ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS
수록면
25-31 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
국제 표준도서번호
0780329864; 0780329856; 0780329872
회의자료명
Micro electro mechanical systems: an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems
회의명
Annual international workshop; 9th
대체회의명
The 9th annual international workshop on micro electro mechanical systems; an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems
회의장소
San Diego; CA
회의날짜
1996; Feb
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