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2001년
eng
학술저널
INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA CHEMISTRY
1521-1528 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
International symposium on plasma chemistry
15th
Orleans, France
2001; Jul
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Simulation of thin films deposition using low-pressure RF jet discharges (PO.4.100)
Calculation of long surface wave produced plasma (SWP) cable (PO.4.101)
Self-consistent modeling of microwave discharges excited by a coaxial structure (PO.4.104)