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2013년
eng
0021-4922
1347-4065
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS -NEW SERIES-
01AC09 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Plasma Characteristics Depending on Power Feeding Method in an Inductively Coupled Plasma (5 pages)
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