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Capanu, M. ; Cervin-Lawry, A. ; Patel, A. ; Koutsaroff, I. ; Woo, P. ; Wu, L. ; Oh, J. ; Obeng, J. ; McClelland, B.
2004년
eng
0272-9172
학술저널
MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIUM PROCEEDINGS
399-404 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1558997334
Thin Films - Stresses and Mechanical Properties
Conference; 10TH
Boston, Mass
2003; Dec
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X-ray Microbeam Diffraction Measurements in Polycrystalline Aluminum and Copper Thin Films