MgO 기질 위의 NiO 박막의 적층 성장

국문 초록 (Abstract)

NiO는 p 형 투명 전도성 물질로서 광학적 및 전기적 특성이 우수하다. Ni(dmamb)2 [nickel bis(1-dimethylamino-2-methyl-2-butanolate)] 를 선구 물질로 사용하여 MgO(001) 기질 위에 NiO 박막을 CVD 방법으로 침착시켰다. Ni(dmamb)2 는 상온에서 옅은 초록빛을 띠는 검은색 액체이며 증기압이 75 ◦C 에서 213 mTorr 로 화학 증착에 쓰기에 충분히 높다. 기질의 온도는 250-400 ◦C 구간에서 25 ◦C 간격으로 변화시켰으며 산소의 원료로 O2 기체를 사용하였다. 박막의 특성을 X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), X-ray diffraction (XRD), reflection high-energy electron diffraction (RHEED), scanning electron microscopy (SEM), transmission electron microscopy (TEM), energy-dispersive X-ray spectroscopy(EDX)로 조사하였다.

목차 (Table of Contents)

• 목 차 i
• 그림 목록 ii
• 표 목록 iii
• 제 1 장 화학 증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD) 1
• 1.1 화학 증착법의 정의 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
• 1.2 화학 증착 공정 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
• 1.3 선구 물질 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
• 제 2 장 NiO 박막의 CVD 9
• 2.1 소개 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
• 2.2 실험 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
• 2.3 결과 및 논의 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
• 2.4 결론 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
• 참고 문헌 24