스마트 팩토리 로봇암용 내열성/전도성 건식 접착층 패드 = A highly Thermostable/Conductive Dry Adhesive Pads for Robot Arm Machines in Smart Factory

목차 (Table of Contents)

• 제 1 장 서론 1
• 제 2 장 실험 3
• 2.1 시약 및 재료 3
• 2.1.1 폴리다이메틸실록산(Poly-dimethylsiloxane; PDMS) 3
• 2.1.2 다중벽카본나노튜브(Multi-walled carbon nanotube; MWCNT) 3
• 2.1.3 포토레지스트(Photoresist) 3
• 2.1.4 용매(Solvent) 3
• 2.2 포토리소그래피를 이용한 마이크로패턴 웨이퍼 제작 5
• 2.3 마이크로패턴 웨이퍼를 이용한 PDMS pad 제작 7
• 2.4 MWCNT의 분산방법 8
• 2.5 표면 측정 8
• 2.6 측면 접착력 측정 9
• 2.7 수직 접착력 측정 10
• 2.8 전기 전도도 측정 11
• 2.9 열 중량 분석 11
• 제 3 장 결과 및 고찰 12
• 3.1 웨이퍼 이송용 로봇암에 사용되는 PDMS pad 12
• 3.1.1 PDMS pad 12
• 3.1.2 PDMS pad의 각 패턴 크기와 접촉면적 13
• 3.1.3 웨이퍼 몰드의 마이크로패턴 14
• 3.2 각 패턴의 측면 접착력 측정 15
• 3.3 각 패턴의 수직 접착력 측정 16
• 3.4 PDMS pad의 접착력 주기 시험 17
• 3.5 전도성 PDMS pad 19
• 3.5.1 절연성 PDMS pad, 전도성 PDMS/MWCNT pad 19
• 3.5.2 PDMS/MWCNT SEM 이미지 21
• 3.5.3 PDMS/MWCNT pad의 전기 전도도 22
• 3.5.4 PDMS/MWCNT pad의 측면 접착력 측정 23
• 3.5.5 PDMS/MWCNT pad의 수직 접착력 측정 24
• 3.6 내열성 PDMS pad 25
• 3.6.1 내열성을 향상시킨 PDMS/MWCNT pad 25
• 3.6.2 PDMS/MWCNT pad의 TGA curve 비교 29
• 3.6.3 PDMS/MWCNT pad의 Isothermal TGA curve 비교 30
• 3.6.4 열처리 후 PDMS/MWCNT pad의 측면 접착력 측정 31
• 3.6.5 열처리 후 PDMS/MWCNT pad의 수직 접착력 측정 32
• 제 4 장 결론 33
• 참고문헌 34