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1998년
eng
학술저널
MICRO SYSTEM TECHNOLOGIES
682-684 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
3800724219
Micro electro, opto, mechanical systems and components
International conference; 6th
Potsdam, Germany
1998; Dec
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