플라즈마중합법에 의해 제작된 유기 박막의 분자구조 및 전자선 레지스트 특성 = (The)molecular structure and electron beam resist characteristics of organic thin films by plasma polymerization method|RISS 상세보기

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예시)

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https://www.riss.kr/link?id=T2161230

저자

박종관
발행사항
인천: 仁荷大學校, 1995
학위논문사항

학위논문(박사) -- 인하대학교 대학원 , 전기공학과(재료 및 물성전공) , 1995
발행연도
1995
작성언어
한국어
주제어

플라즈마중합법 ; 유기 ; 박막 ; 분자구조 ; 전자 ; 레지스트 ; MOLECULAR ; STRUCTURE ; ELECTRON ; BEAM ; RESIST ; ORGANIC ; THIN ; FILMS ; PLASMA ; POLYMERIZATION ; METHOD
KDC
561.8
DDC
621.3028 판사항(19)
발행국(도시)
인천
형태사항
xi,115장: 삽도,도판; 26cm
소장기관
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