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2001년
eng
0161-6374
2576-1579
학술저널
PROCEEDINGS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV
85-94 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1566773571
Patterning of low- and high- k films and damage control in ULSI device fabrication; Thin film materials, processes, and reliability
Symposia
San Francisco, CA
2001; Sep
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