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1993년
eng
plasma chemistry ; ISPC ; IUPAC ; IEE
학술저널
INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA CHEMISTRY
799-804 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0952214903; 0952214938
Plasma chemistry
International symposium; 11th
Eleventh international symposium on plasma chemistry
Loughborough
1993; Aug
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The Reactive Sputtering of Oxides and Nitrides
Growth, Morphology and Interactions of Dust in Plasmas
High Rate Deposition of Device Quality a-Si:H