- Abstract
- 1. 서론
- 2. 방전 플리즈마 CVD(GDPECVD)
- 3. 소자의 제작과 측정방법
- 4. 실험결과 및 분석
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https://www.riss.kr/link?id=A76613741
1994
Korean
SCOPUS,KCI등재
학술저널
312-317(6쪽)
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