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예시)

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저자

Chan, L. ; Geuskens, B. ; Mangaser, R. ; Rose, K.
발행기관

SEMI
학술지명
IEEE SEMI ADVANCED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CONFERENCE AND WORKSHOP
권호사항

Vol.9 No.- [1997]
발행연도
1997년
작성언어
eng
주제어

advanced semiconductor manufacturing ; ASMC ; IEEE ; SEMI
Print ISSN
1078-8743
Online ISSN
2376-6697
등재정보
SCOPUS
자료형태
학술저널
원정보자원
IEEE SEMI ADVANCED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CONFERENCE AND WORKSHOP
수록면
87-90 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
국제 표준도서번호
0780340515; 0780340507; 0780340523
회의자료명
Advanced semiconductor manufacturing conference
회의장소
Cambridge; MA
회의날짜
1997; Sep
소장기관
- 서울대학교 중앙도서관
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