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      RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 SAW 필터에 관한 연구 = A Study on the ZnO Thin Film SAW Filter by RF Sputter

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      https://www.riss.kr/link?id=A101054488

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      다국어 초록 (Multilingual Abstract)

      ZnO thin films on glass substrate were depostied by RF magnetron reactive sputter with various argon/oxygen gas ratios and substrate temperatures. Crystallinities, surface morphologies, chemical compositions, and electrical properties of the films wer...

      ZnO thin films on glass substrate were depostied by RF magnetron reactive sputter with various argon/oxygen gas ratios and substrate temperatures. Crystallinities, surface morphologies, chemical compositions, and electrical properties of the films were investigated by XRD, SEM, XPS and electrometer(keithley 617). All films showed a strong preferred orientation along the c-axis on glass substrate, and the chemical stoichiometry was obtained at Ar/O$_2$.=50/50. The propagation velocity of ZnO SAW filter was about 2,590 m/sec and insertion loss was a minimum value of abut -21dB.

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