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      고온의 진공상태에서 열화한 반도체 소재 TTIP(Tetraisopropyl orthotitanate) 전구체의 열물성 및 ALD를 사용한 박막의 특성평가

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      https://www.riss.kr/link?id=A106540525

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      국문 초록 (Abstract)

      본 연구에서는 대표적인 고유전체 박막 TiO2의 전구체 TTIP의 장시간 열안정성을 평가하기 위해 120~180°C의 조건에서 7일간 열화하여 증기압과 TGA 측정을 통해 열물성 변화를 확인하고자 한다. ...

      본 연구에서는 대표적인 고유전체 박막 TiO2의 전구체 TTIP의 장시간 열안정성을 평가하기 위해 120~180°C의 조건에서 7일간 열화하여 증기압과 TGA 측정을 통해 열물성 변화를 확인하고자 한다. 또한, 원자층 증착법의 장비를 사용해 증착한 유전체 박막의 증착률 및 균일도, 형태 등의 박막특성 변화를 확인하고, 이를 비교하여 고유전체 박막 TiO2의 열화 전후의 특성을 평가하여, TTIP 열화에 의한 열물성 변화와 원자층 증착에서의 열화온도에 따른 조건최적화 및 소자 특성을 확인하고자 한다.

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