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Kashiwagi, M. ; Umeda, N. ; Tobari, H. ; Kojima, A. ; Yoshida, M. ; Taniguchi, M. ; Dairaku, M. ; Maejima, T. ; Yamanaka, H. ; Watanabe, K. ; Inoue, T. ; Hanada, M.
2014년
eng
0034-6748
1089-7623
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
Review of scientific instruments
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Preface: Proceedings of the 15th International Conference on Ion Sources, Chiba, Japan 2013 (1 page)
Development of the ion source for cluster implantation (3 pages)
Low fragment polyatomic molecular ion source by using permanent magnets (3 pages)