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예시)

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저자

Stevens, S. ; Harper, R. ; Knutrud, P. ; Carlson, A.
발행기관

SEMI
학술지명
IEEE SEMI ADVANCED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CONFERENCE AND WORKSHOP
권호사항

Vol.- No.- [2000]
발행연도
2000년
작성언어
eng
주제어

advanced semiconductor manufacturing ; ASMC ; IEEE ; SEMI ; semiconductor manufacturing
Print ISSN
1078-8743
Online ISSN
2376-6697
등재정보
SCOPUS
자료형태
학술저널
원정보자원
IEEE SEMI ADVANCED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CONFERENCE AND WORKSHOP
수록면
199-202 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
국제 표준도서번호
0780359224; 0780359216; 0780359232
회의자료명
Advanced semiconductor manufacturing conference
회의명
11th
회의장소
Boston, MA
회의날짜
2000; Sep
구독기관
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