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      Rapid Non-Invasive Temperature Measurement of Complex Si Structures Using In-Situ Spectroscopic Ellipsometry

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      • 저자
      • 발행기관
      • 학술지명
      • 권호사항
      • 발행연도

        1998년

      • 작성언어

        eng

      • 주제어
      • Print ISSN

        0094-243X

      • Online ISSN

        1551-7616

      • 자료형태

        학술저널

      • 원정보자원

        AIP CONFERENCE PROCEEDINGS

      • 수록면

        310-314   [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]

      • 국제 표준도서번호

        1563967537; 1563968673; 1563968681

      • 회의자료명

        Characterization and metrology for ULSI technology

      • 회의명

        International conference

      • 회의장소

        Gaithersburg, MD

      • 회의날짜

        1998; Mar

      • 구독기관
        • 부산대학교 중앙도서관  
        • 한양대학교 백남학술정보관  
      • ⓒ COPYRIGHT THE BRITISH LIBRARY BOARD: ALL RIGHT RESERVED

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