1 최광민 ; 이지은 ; 조귀영 ; 김관식 ; 조수헌, "반도체 웨이퍼 제조공정 클린룸 구조, 공기조화 및 오염제어시스템" 한국산업보건학회 25 (25): 202-210, 2015
2 김대현 ; 김광선, "반도체 식각 공정용 냉각 시스템 구축을 위한 AMESim 모델 개발" 한국반도체디스플레이기술학회 16 (16): 106-110, 2017
3 차동안 ; 권오경 ; 오명도, "반도체 공정 온도제어용 칠러의 실험적 연구" 대한기계학회 35 (35): 459-465, 2011
4 Jia, L., "Study on the performance of two water-side free cooling methods in a semiconductor manufacturing factory" 243 : 110977-, 2021
5 Yu G.H., "Reduce air conditioning energy in semiconductor/display cleanroom" 20 (20): 1-18, 2007
6 Song W. I., "Evaluation of Annual Power Consumption in Semiconductor Manufacturing Clean Rooms Using High-Temperature Chilled Water System" 2015
7 ANSYS, INC, "Ansys Fluent Theory Guide Release 2021R1"
1 최광민 ; 이지은 ; 조귀영 ; 김관식 ; 조수헌, "반도체 웨이퍼 제조공정 클린룸 구조, 공기조화 및 오염제어시스템" 한국산업보건학회 25 (25): 202-210, 2015
2 김대현 ; 김광선, "반도체 식각 공정용 냉각 시스템 구축을 위한 AMESim 모델 개발" 한국반도체디스플레이기술학회 16 (16): 106-110, 2017
3 차동안 ; 권오경 ; 오명도, "반도체 공정 온도제어용 칠러의 실험적 연구" 대한기계학회 35 (35): 459-465, 2011
4 Jia, L., "Study on the performance of two water-side free cooling methods in a semiconductor manufacturing factory" 243 : 110977-, 2021
5 Yu G.H., "Reduce air conditioning energy in semiconductor/display cleanroom" 20 (20): 1-18, 2007
6 Song W. I., "Evaluation of Annual Power Consumption in Semiconductor Manufacturing Clean Rooms Using High-Temperature Chilled Water System" 2015
7 ANSYS, INC, "Ansys Fluent Theory Guide Release 2021R1"