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Jeon, I. S. ; Park, J. ; Eom, D. ; Hwang, C. S. ; Kim, H. J. ; Park, C. J. ; Cho, H. Y. ; Lee, J.-H. ; Lee, N.-I. ; Kang, H.-K.
2003년
eng
0021-4922
1347-4065
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
1222-1226 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Removal of the Polymer Formed at Via Hole with Via Etching Stopped on an Al layer Structure