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Tapily, K. ; Jakes, J. ; Stone, D. ; Shrestha, P. ; Gu, D. ; Baumgart, H. ; Elmustafa, A.
2007년
eng
1938-5862
1938-6737
학술저널
ECS TRANSACTIONS
123-130 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
9781566775731
Atomic layer deposition application
Symposium; 3rd
Washington DC
2007; Oct
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