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      마이크로 공구의 위치검출용 광센서의 성능향상에 대한 연구

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      다국어 초록 (Multilingual Abstract)

      This paper describes simulation results for performance improvement of the optical sensor. Mathematical models for measuring mechanism in direction of X, Y and Z axis are presented. Based on the models, variances of sensitivity were investigated accor...

      This paper describes simulation results for performance improvement of the optical sensor. Mathematical models for measuring mechanism in direction of X, Y and Z axis are presented. Based on the models, variances of sensitivity were investigated according to both parameter x? in X, Y and Z direction and x in Y and Z direction. As the results, it was found that the less x?, the higher sensitivity in the x direction. In addition, the sensitivities in the Y and Z direction are increased when x? is decreased, and x is increased. This paper shows that the optimum values of x? and x can be selected for maximum sensitivity.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 기본 원리
      • 3. 측정모델 및 시뮬레이션 결과
      • 4. 결론
      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 기본 원리
      • 3. 측정모델 및 시뮬레이션 결과
      • 4. 결론
      • 후기
      • 참고문헌
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