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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      앙상블 기법을 활용한 반도체 공정 간 Q-Time over 예측

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      https://www.riss.kr/link?id=A106969520

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      국문 초록 (Abstract)

      한국어
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      반도체 생산 시스템은 제품에 따라 필요한 공정을 찾아가 수행하는 대표적인 공정 중심 시스템이다. 반도체 집적회로의 재료가 되는 웨이퍼는 반도체 Fab 내 물류적 운송단위인 로트(Lot)로 묶여서 수백 개의 공정을 수행한다. 로트는 임의의 공정에서 track-out되고 나서 그 다음 공정에 track-in되기까지 대기 시간(Q-Time)이 발생하게 되는데 화학 처리된 웨이퍼의 Q-Time이 일정 시간을 초과할 경우 산화 및 먼지로 인해 제품 품질에 영향을 주게 되어 로트는 재공정을 수행하거나 혹은 폐기되고 결국 생산량에 악영향을 미친다. 반도체 생산 라인에서는 로트의 Q-Time이 일정 시간을 초과하지 않도록 상한선을 정하고 관리하지만 복잡한 생산 라인의 흐름 때문에 로트의 Q-Time이 상한선을 넘는 지를 예측하기가 어렵다. 따라서 본 연구에서는 앙상블 기법을 이용하여 공정 간 로트의 Q-Time over 여부를 예측하였다.
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      반도체 생산 시스템은 제품에 따라 필요한 공정을 찾아가 수행하는 대표적인 공정 중심 시스템이다. 반도체 집적회로의 재료가 되는 웨이퍼는 반도체 Fab 내 물류적 운송단위인 로트(Lot)로 ...

      반도체 생산 시스템은 제품에 따라 필요한 공정을 찾아가 수행하는 대표적인 공정 중심 시스템이다. 반도체 집적회로의 재료가 되는 웨이퍼는 반도체 Fab 내 물류적 운송단위인 로트(Lot)로 묶여서 수백 개의 공정을 수행한다. 로트는 임의의 공정에서 track-out되고 나서 그 다음 공정에 track-in되기까지 대기 시간(Q-Time)이 발생하게 되는데 화학 처리된 웨이퍼의 Q-Time이 일정 시간을 초과할 경우 산화 및 먼지로 인해 제품 품질에 영향을 주게 되어 로트는 재공정을 수행하거나 혹은 폐기되고 결국 생산량에 악영향을 미친다. 반도체 생산 라인에서는 로트의 Q-Time이 일정 시간을 초과하지 않도록 상한선을 정하고 관리하지만 복잡한 생산 라인의 흐름 때문에 로트의 Q-Time이 상한선을 넘는 지를 예측하기가 어렵다. 따라서 본 연구에서는 앙상블 기법을 이용하여 공정 간 로트의 Q-Time over 여부를 예측하였다.

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      목차 (Table of Contents)

      • 요약
      • 1. 서론
      • 2. Q-Time 관련 예측 변수 수집
      • 3. 앙상블 기법을 활용한 예측기 훈련
      • 4. 결론
      • 요약
      • 1. 서론
      • 2. Q-Time 관련 예측 변수 수집
      • 3. 앙상블 기법을 활용한 예측기 훈련
      • 4. 결론
      • 참고 문헌
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