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2000년
eng
0255-5476
1662-9752
SCOPUS
학술저널
MATERIALS SCIENCE FORUM
1121-1124 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0878498540
International conference on silicon carbide and related materials
Research Triangle Park, NC
1999; Oct
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Polishing and Surface Characterization of SiC Substrates
Comparison of Mechanical and Chemomechanical Polished SiC Wafers Using Photon Backscattering
Damage-Free Surface Modification of Hexagonal Silicon Carbide Wafers