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Nevrly, V. ; Janku, J. ; Dlabka, J. ; Vasinek, M. ; Juha, L. ; Vysin, L. ; Burian, T. ; Lancok, J. ; Skrinsky, J. ; Zelinger, Z.
2013년
eng
0277-786X
1996-756X
학술저널
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
8777 0C [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Application of EUV optics to surface modification of materials [8777-6]