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Sarma, C. ; Bunday, B. ; Cepler, A. ; Dziura, T. ; Kim, J. ; Lin, G. ; Yin, J.
2014년
eng
0277-786X
1996-756X
학술저널
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
9050 0O [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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CDSEM AFM hybrid metrology for the characterization of gate-all-around silicon nano wires [9050-7]