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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. 序論
      • 2. TCA 酸化
      • 3. 熱反應蒸氣(Pyrogenic steam)酸化
      • 4. 實驗 및 酸化膜 均一性 改善
      • Abstract
      • 1. 序論
      • 2. TCA 酸化
      • 3. 熱反應蒸氣(Pyrogenic steam)酸化
      • 4. 實驗 및 酸化膜 均一性 改善
      • 5. 結論
      • References
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