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2006년
eng
0734-2101
1520-8559
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A VACUUMS SURFACES AND FILMS
1605-1609 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
AVS
International symposium; 52nd
Boston, MA
2005; Oct
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Thermal conductivity of AIN-diamond particulate composite films on silicon
Modeling of dc magnetron plasma for sputtering: Transport of sputtered copper atoms