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오세운 ; 권오관 ; 최종선 ; 김영관 ; 신동명 ( Se Woon Oh ; Oh Kwan Kwon ; Jong Sun Choi ; Young Kwan Kim ; Dong Myung Shin )
1997
-
500
학술저널
518-520(3쪽)
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TMAH / IPA / Pyrazine 수용액에서 전기화학적 식각정지법을 이용한 Si 기판의 미세가공