Si(100) wafer에 증착된 박막의 조성에 따른 결정상과 자기적 특성을 평가하고자 동시 스퍼터링법을 이용하여 다양한 조성의 박막을 제조하여 그의 상변화와 자기적 특성을 평가하였다. Fe 타겟...
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강대식 (한국세라믹기술원) ; 송종한 ; 남중희 (한국세라믹기술원) ; 조정호 (한국세라믹기술원) ; 전명표 (한국세라믹기술원) ; Kang, Dae-Sik ; Song, Jong-Han ; Nam, Joong-Hee ; Cho, Jeong-Ho ; Chun, Myoung-Pyo
2009
Korean
KCI등재,ESCI
학술저널
282-287(6쪽)
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다운로드국문 초록 (Abstract)
Si(100) wafer에 증착된 박막의 조성에 따른 결정상과 자기적 특성을 평가하고자 동시 스퍼터링법을 이용하여 다양한 조성의 박막을 제조하여 그의 상변화와 자기적 특성을 평가하였다. Fe 타겟...
Si(100) wafer에 증착된 박막의 조성에 따른 결정상과 자기적 특성을 평가하고자 동시 스퍼터링법을 이용하여 다양한 조성의 박막을 제조하여 그의 상변화와 자기적 특성을 평가하였다. Fe 타겟의 인가되는 출력의 변화로 $Ni_xFe_{100-x}$(40 < x < 67)의 박막을 증착시 x < 55인 경우 BCC상으로 증착이 되었으며 $300{\sim}450^{\circ}C$에서 2시간 열처리를 한 결과 BCC에서 FCC로의 상전이가 일어나는 것을 관찰 할 수 있었으나, x < 50에서는 열처리 후에도 BCC와 FCC가 혼재하여 나타나는 것을 알 수 있었다. 상변화로 인해 $M_s$가 감소하였으나 $450^{\circ}C$에서 열처리시 상전이가 일어나지 않은 BCC상들의 입성장 및 결정화로 다시 $M_s$가 증가하였다.
다국어 초록 (Multilingual Abstract)
$Ni_xFe_{100-x}$ films with a thickness of about 100nm were deposited on Si(100) substrates at room temperature by a DC magnetron co-sputtering using Fe and Ni targets. Compositional, structural, electrical and magnetic properties of the films were in...
$Ni_xFe_{100-x}$ films with a thickness of about 100nm were deposited on Si(100) substrates at room temperature by a DC magnetron co-sputtering using Fe and Ni targets. Compositional, structural, electrical and magnetic properties of the films were investigated. $Ni_{67}Fe_{33}$, $Ni_{55}Fe_{45}$, $Ni_{50}Fe_{50}$, $Ni_{45}Fe_{55}$, $Ni_{40}Fe_{60}$ films are obtained by increasing the sputtering power of the Fe target. The films of x < 55 have BCC structure and show the phase transformation after annealing at the range of $300{\sim}450^{\circ}C$ for 2 h. On the other hand, the films of x < 50 have the mixed crystalline phases of BCC and FCC after the annealing treatment. The saturation magnetization was decreased initially by the phase transformation effect but then increased again after annealing at $450^{\circ}C$ due to the grain growth and crystallization of BCC phases.
참고문헌 (Reference)
1 J. Crangle, "The magnetization of face-centered cubic and body-centered cubic ironnickel alloys" A272 : 119-, 1963
2 G. Dumpich, "Structural and magnetic properties of NixFe1 − x evaporated thin films" 67 : 55-, 1987
3 K. Sumiyama, "Metastable bcc phase in sputtered Fe-Ni alloys" 24 : 190-, 1983
4 J. Neamtu, "Hall effect in Permalloy-based thin films and magnetic multilayers" 157 : 461-, 1996
5 J. Yang, "Growth structure and properties of Fe rich Fe- Ni alloy films deposited on MgO(001) by dc-biased plasma-sputtering" 347 : 85-, 1999
6 J.-K. Kim, "Exchange biasing and magnetoresistance in α-Fe2O3/NiFe/Cu/NiFe spin-valves" 10 (10): 37-, 2000
7 X. Chen, "Characteristics of NixFe100 − x films deposited on SiO2/Si(100) by DC magnetron co-sputtering" 75 : 217-, 2004
8 X. Chen, "Characteristics of Ni6Fe94 films deposited on SiO2/ Si(100) by an oblique target co-sputtering" 515 : 2786-, 2006
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7 X. Chen, "Characteristics of NixFe100 − x films deposited on SiO2/Si(100) by DC magnetron co-sputtering" 75 : 217-, 2004
8 X. Chen, "Characteristics of Ni6Fe94 films deposited on SiO2/ Si(100) by an oblique target co-sputtering" 515 : 2786-, 2006
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학술지 이력
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2028 | 평가예정 | 재인증평가 신청대상 (재인증) | |
2022-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (재인증) | |
2019-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (계속평가) | |
2016-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (계속평가) | |
2015-12-01 | 평가 | 등재후보로 하락 (기타) | |
2012-03-29 | 학술지명변경 | 외국어명 : Jounal of Korea Associaiton of Crystal Gorwth -> Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology | |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2005-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2002-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) |
학술지 인용정보
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.24 | 0.24 | 0.23 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.2 | 0.17 | 0.244 | 0.09 |