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예시)

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저자

Zhou, Fan ; Jing, Weixuan ; Wu, Qiong ; Gao, Weizhuo ; Jiang, Zhuangde ; Shi, Jiafan ; Cui, Qibing
발행기관

Elsevier Science B.V., Amsterdam.
학술지명
Materials Science in Semiconductor Processing
권호사항

Vol.56 No.- [2016]
발행연도
2016년
작성언어
eng
Print ISSN
1369-8001
Online ISSN
1873-4081
등재정보
SCI;SCIE;SCOPUS
자료형태
학술저널
원정보자원
Materials science in semiconductor processing
수록면
137-144 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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