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Yuhara, D. ; Ikeda, K. ; Mikami, M. ; Shiratori, K. ; Shirae, H. ; An, L. J. ; Kasai, T.
2023년
eng
1012-0394
1662-9779
학술저널
Diffusion and defect data
74-82 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
16th International symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces, UCPSS 2023
Bruges, Belgium
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Silicon Nitride Selective Functionalization with Aqueous Cellulose
Wet Cleaning/Etching of NiAl Thin Film
Design of ``Soft'' Cleaning Processes for Emerging Substrates via Stimuli Responsive Chemistry