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Goksu, T. ; Yldrm, N. ; Korkut, H. ; Ozdemir, A. F. ; Turut, A. ; Kokce, A.
2010년
eng
0167-9317
1873-5568
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MICROELECTRONIC ENGINEERING
1781-1784 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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In0.53Ga0.47As(100) native oxide removal by liquid and gas phase HF/H2O chemistries