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이수호 ; 조현철 ; 김한근 ; 손무헌 ; 사공건 ( Su Ho Lee ; Hyun Chul Cho ; Han Geun Kim ; Mu Hun Son ; Geon SaGong )
1997
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500
학술저널
206-210(5쪽)
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TMAH / IPA / Pyrazine 수용액에서 전기화학적 식각정지법을 이용한 Si 기판의 미세가공