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Tinani, M. ; Mueller, A. ; Gao, Y. ; Irene, E. A. ; Hu, Y. Z. ; Tay, S. P.
2001년
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2166-2746
2166-2754
SCIE
학술저널
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY B MICROELECTRONICS AND NANOMETER STRUCTURE
376-383 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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