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2012년
eng
0277-786X
1996-756X
학술저널
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
8700 07 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0819494879; 9780819494870
Micro-and nano-electronics
International conference
Zvenigorod, Russian Federation
2012; Oct
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Formation of nanoscale structures by inductively coupled plasma etching [8700-45]
Copper germanium alloys formation by the low temperature atomic hydrogen treatment [8700-8]